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产品说明 |
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SX1934型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）测试专用仪器。
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仪器以大规模集成电路为核心部件，采用旋扭式开关控制，及各种工作状态 LED 指示。应用微计算机技术，使得测量读数更加直观、快速。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。 |
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| SX1934四探针测试仪可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料（棒材、片材、块状）电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。 |
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产品外观 |
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附件说明 |
| 1、探头 |
| SX系列四探针探头是采用综合性能优异的电镀钢、机械结构优良弹簧片、耐磨和硬度高的探针研制的测量数据稳定、可靠、准确度高、耐用性能好四探针探头。所有技术指标符合国家标准，同时符合ASTM标准有关规定。 |
| * 由于采用了综合性能优异的电镀钢四探针探头有如下特点： |
| ① 耐腐蚀，除氧化性介质外，可以耐几乎所有的无机物质腐蚀； |
| ② 低吸湿，在23℃水中经24小时浸泡后吸水率小于0．05％； |
| ③ 阻燃性好，其氧指数大于40，为UV—94V—00／5—V级； |
| ④ 耐高温，长期使用温度100℃； |
| * 技术参数： |
| ① 探针间距：1±0.010mm； |
| ② 探针材料：高速钢或碳化钨； |
| ③ 探针压力：5～8牛顿或12～16牛顿； |
| ④ 探针机械游移率：小于1%； |
| ⑤ 探针伸出的长度：2mm； |
| ⑥ 针尖锥体夹角：60°； |
| ⑦ 针间绝缘电阻：大于109Ω； |
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2、测试架
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| *.专为实验室使用而制作的。该测试台设计别致、操作简易、重量轻、并有微调手轮，便于探针与样品的精确接触。 |
| *.载物台：方盘220mm×230mm,带刻度线，便于准确定位，圆盘φ15—100mm |
| *.有效行程：40mm； 重量：3kg |
| *.粗调手轮：20mm/圈。 |
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详细参数 |
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电阻率：10-4—105Ω.cm（可扩展）；方块电阻（薄层电阻）：10-3—104Ω/□；
电阻：10-6—105Ω
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可测晶片直径（最大） |
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电流量程分为0.01、0.1、1、10、100（mA）五档，
各档电流连续可调
误差≤±0.5%。
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量程：0.2mV；2mV；20mV；200mV；2V
最大分辨率：0.1μV
显示：三位半数字显示；极性、过载自动显示；小数点、单位自动显示
输入阻抗：0.2mV和2mV量程：＞106Ω；其它量程：＞108Ω
精度：±0.5%。
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最大电阻测量误差（按JJG508-87进行）:0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.5%读数±2个字
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间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻≥1000MΩ；机械游移率:≤1.0%
探针压力：TZT-9A/9B: 12-16牛顿（总力）TZT-9C/9D 5-8 牛顿（总力）
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用硅标样片测试)≤5% （0.01-180Ω.cm |
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测试环境
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温度23±2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射 |
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220V±10%（50Hz）
功耗：≤35W |
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