产品型号:SX1934(原SZ82)型数字式四探针测试计(国家标准制定单位)
 
     
 
 
产品说明
 
 
    四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置。广泛用于半导体厂家、太阳能行业,还能满足科研单位的精密研究。
 
     
 
产品特点
 
 
    四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M 标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器。
    仪器以大规模集成电路为核心部件,采用旋扭式开关控制,及各种工作状态LED指示。应用微计算机技术,使得测量读数更加直观、快速。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。
 
     
 
产品外观
 
 
 
 
 
 
详细参数
 
 
 
型号
SX1934(SZ82)
测量范围
电阻率/Range:10-4—105Ω/□(可扩展/extended range) 方块电阻(薄层电阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 电阻/resistance:10-6—105Ω
可测晶片直径(最大)
φ100mm(标配),方形230×220mm(最大)
最大电阻测量误差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%读数±2个字
外形尺寸
400mm×440mm×120mm
仪器重量
电气主机:约4kg   测试台:约5kg
测试环境
温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%; 无高频干扰 无强光照射
电源
220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
备注
具备电脑接口
 
 
 
     

 

探头
 
    Sx系列四探针探头是采用综合性能优异的高分子材料、耐磨和硬度高的探针研制的测量数据稳定、可靠、准确度高、耐用性能好四探针探头。所有技术指标符合国家标准,同时符合ASTM标准有关规定。
间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻≥1000MΩ; 机械游移率:≤1.0%;
探针压力:TZT-9A/9B: 12-16牛顿(总力) TZT-9C/9D 5-8 牛顿(总力)
 
典型用户
 
清华大学
重庆大学
江苏顺大半导体有限公司
 
北京大学
黑龙江大学
天津中环半导体股份有限公司
上海交大
兰州大学
金华美晶硅电子有限公司
华东理工大学
江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
中国振华集团
大连理工大学
无锡尚德太阳能电力有限公司
中电四十六所
成都电子科大
宁波太阳能电源有限公司
大连化工物理所
 
 
     
 
 
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